SCANNING & IMAGING LITHOGRAPHY

In stereolithography process, two dimensional patterns are drawn by ultra violet laser scanning, and formed solid layer are stacked up to create three dimensional resin object including micro particles. 光造形プロセスは、光硬化性樹脂に微粒子を分散し、レーザ走査によりパターンを硬化させ、得られる断面層を順次積み重ねつつ接合し、複雑形状のモデルを作製する手法である。

In micro stereolithography process, two dimensional patterns are created by using a digital micro mirror device, and three dimensional resin models with nanoparticles are fabricated by layer stacking. マイクロ光造形プロセスは、微粒子を分散した光硬化性のペースト樹脂を素材として、デジタルマイクロミラーデバイスを用いたパターン露光により、微細なモデルを作製する手法である。